案例研究：EV Group, Inc.

"现在我们做几百个测量跟以前测量几个的时间一样。"

- Garrett Oakes, 北美部技术主任, EVG 公司

自动测量增强了硅检测实验室的生产能力和信息价值

EVG 公司提供晶圆键合机， 光刻机，纳米压印光刻机，计量测量仪器，以及光刻胶涂抹机，清洗机，检测设备。EVG的工程师们在亚利桑那州坦佩市的示范应用实验室测量用户提供的不同类型及大小制程晶圆上薄膜及涂层的厚度，以便为用户优化制程控制。

寻找测量薄膜厚度新方法

以前, EVG的工程师们用“划痕试验”的方法，在选定的区域里刮掉薄膜，再用光学轮廓仪测量膜厚。这些方法不仅费时，只能提供有限的资料，而且不能重复试验。

工程师们还要测量不同应用中聚合物薄膜厚度。 这些需要使得 EVG 找到 Filmetrics 和 F50-EXR 薄膜厚度测绘系统。

Filmetrics 的 F50-EXR 用较长波长测量更厚，更粗糙，更不透明薄膜。 这个系统满足EVG测量多种晶圆（最大300mm），多种材料，包括从原生状态硅，金属种晶层硅晶圆，以及不能多碰特殊材料晶圆。“Filmetrics系统的一个最大好处是能相当准确地测量不同大小晶圆和聚合物的厚度，” Garrett　Oakes 说，北美部技术主任, EVG 公司

快速，精确，多用途的测量

使用 Filmetrics 的 F50-EXR 给 EVG 带来多项好处。

节省时间 . “我不愿意买一个没人要用的复杂仪器，” Oakes 解释道。 “Filmetrics 系统非常直观，工程师花一点点时间就可以明白如何操作。" 因为 Filmetrics 的测量都是自动的， EVG 工程师们可以在做别的工作时，进行测量，提高了工作效率。

可以远程遥控测量结果更使 F50-EXR 系统节约时间。“现在我们做几百个测量跟以前测量几个的时间一样” Oakes 先生说。

可重复的检测 . 可重复性增强了客户对测量结果的信心。“Filmetrics 自动测量系统允许工程师们对同一晶圆进行多次测量，” Oakes 先生解释道。 "当工程师检测同一样本系列多个晶圆时，自动测量使测量具有一致性。”

适应性 . 支持不同晶圆大小和类型的 Filmetrics 系统使 EVG 能接受更多客户测量项目。

资料全面 . 通过晶圆上更多点的测量以及直观详尽的测量报告，EVG 的工程师们可以帮助客户确定产品设计或生产过程上的问题。

Oakes 和他的工程师团队还得到 Filmetrics 对客户提出的罕见或高难度测量的的全面支持。“Filmetrics 工程师们帮你找到你需要的最好选择，” Oakes 先生说。

“对 EVG 来说, Filmetrics 的 F50-EXR 系统提高了我们实验室的运作质量， 同时也提高了客户对公司服务的满意度。”