请参考我们新型光学轮廓仪!

Profilm3D使得光学轮廓测量更易负担

最后,表面粗糙度和表面形貌测量可以用比探针式轮廓仪成本更低的仪器来进行。 Profilm3D具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率, Profilm3D 同样使用了现今最高分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含垂直扫描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。

这就是您需要的解析力

每台Profilm3D带有直观的粗糙度,表面形貌和台阶高度的测量软件。所有常见如ISO 25178 所规范的粗糙度参数都支持,也包括軟件功能用于形貌分析, 如形状去除和波长过滤,都包含在基本Profilm3D软件。对于更进阶的功能,Filmetrics提供了我们的合作伙伴TrueGage的TrueMap软件可进一步处理 Profilm3D数据, 这当然也与业界其他标准分析软件兼容。

其他轮廓仪列为选备的功能已经是我们的标准配备

为什么需要额外支付每位使用者所需要的功能?每台Profilm3D都已标配自动化X/Y平台包含tip/tilt 功能。

以我们的阶高标准片建立标准

每台Profilm3D配备了一个10微米阶高标准片,可达0.5%准确度。另我们还提供具有100nm,2微米以及4微米等多阶高标准片。

最大视场

The Profilm3D以10倍物镜优异地提供更宽广的2毫米视野, 其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要。 更进一步减少总体成本。 本司也提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样。

性能规格

厚度范围, VSI 50 nm - 10 mm
厚度范围, PSI 0 - 3 μm
樣品反射率範圍 0.05% - 100%
电脑要求

机械规格

Z 范围 100 mm
Piezo (压电)范围 500 μm
XY 平台类型 手动或自动
XY 平台范围 100 mm x 100 mm
相机 2592 x 1944 (5 百万像素)
系统尺寸,宽x深x高 300 mm x 300 mm x 550 mm
系统重量 15 kg

物镜 1 (Nikon CF IC Epi Plan)

放大倍率 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
视场 8.0 x 6.8 mm 4.0 x 3.4 mm 2.0 x 1.7 mm 1.0 x 0.85 mm 0.4 x 0.34 mm 0.2 x 0.17 mm
采样空间2 3.52 μm 1.76 μm 0.88 μm 0.44 μm 0.176 μm 0.088 μm
1 分别出售
2 样本上之像素大小

常见的选购配件: