轮廓仪与光谱反射仪的比较


轮廓仪 是用容易理解的机械技术测量 薄膜 厚度。 它的工作原理是测量测量划过薄膜的检测笔的高度(见右图)。 轮廓仪的主要优点是可以测量所有固体膜,包括不透明的厚金属膜。 更昂贵的系统能测绘整个表面轮廓。(有关我们的低成本光学轮廓仪的資訊,请点击这里).
获取反射光谱指南然而轮廓仪也有不足之处。 首先,样本上必须有个小坎才能测量薄膜厚度, 而小坎通常无法很标准(见图)。 这样,标定误差加上机械漂移造成5%-10%的测量误差。
与此相比, 光谱反射仪使用非接触技术,不需要任何样本准备就可以测量厚度。 只需一秒钟分析从薄膜反射的光就可确定薄膜厚度和 折射率。 光谱反射仪还可以测量多层薄膜。
轮廓仪和光谱反射仪的主要优点列表于下。 如需更多光谱反射仪信息 请点击这里。
光谱反射率 | 轮廓仪 | |
---|---|---|
厚度测量范围 | 1nm - 3mm (非金属) 0.5nm - 50nm (金属)* |
2nm - 0.5mm (硬材料) |
可测多层薄膜 | 是 | 否 |
可测折射率 | 是 | 否 |
可重复性 (500nm 二氧化硅) | 0.1nm | 0.5nm |
测量速度 | ~0.1 - 5秒 | ~5 - 30秒 |
需要事先准备样品 | 否 | 是 |
包含移动部件 | 否 | 是 |
基本系统价格 | ~$13K | ~$50K |