轮廓仪与光谱反射仪的比较

轮廓仪测量薄膜厚度 光谱反射率

轮廓仪 是用容易理解的机械技术测量 薄膜 厚度。 它的工作原理是测量测量划过薄膜的检测笔的高度(见右图)。 轮廓仪的主要优点是可以测量所有固体膜,包括不透明的厚金属膜。 更昂贵的系统能测绘整个表面轮廓。

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然而轮廓仪也有不足之处。 首先,样本上必须有个小坎才能测量薄膜厚度, 而小坎通常无法很标准(见图)。 这样,标定误差加上机械漂移造成5%-10%的测量误差。

与此相比, 光谱反射仪使用非接触技术,不需要任何样本准备就可以测量厚度。 只需一秒钟分析从薄膜反射的光就可确定薄膜厚度和 折射率。 光谱反射仪还可以测量多层薄膜。

轮廓仪和光谱反射仪的主要优点列表于下。 如需更多光谱反射仪信息 请点击这里

光谱反射率 轮廓仪
厚度测量范围
1nm - 3mm (非金属)
0.5nm - 50nm (金属)*
2nm - 0.5mm (硬材料)
可测多层薄膜
可测折射率
可重复性 (500nm 二氧化硅) 0.1nm 0.5nm
测量速度 ~0.1 - 5秒 ~5 - 30秒
需要事先准备样品
包含移动部件
基本系统价格 ~$13K ~$50K
*取决于薄膜种类