厚度测量产品

  • F20 F20

    全世界销量最好的薄膜测量系统。有各种不同附件和波长覆盖范围。

  • F3 F3

    我们测量反射率和薄膜厚度的最新产品整合了数个容易使用的优点。

  • aRTie aRTie

    可同步测量反射率与透射率。用于厚度与光学常数的测量。

  • F10-ARc F10-ARc

    可测量镜片和其他曲面的反射率,用于硬涂层厚度测量

  • F10-RT F10-RT

    可同时测量反射率和透射率。 提供测量厚度和折射率的可选件。普遍应用于真空涂层领域。

  • F10-HC F10-HC

    测量硬涂层和防雾层厚度和折射率。聚碳酸酯硬涂层在汽车等行业应用普遍。

  • F3-CS F3-CS

    提供微小视野及微小样品量测.

  • F10-AR F10-AR

    测量眼科镜头和其他弯曲表面的反射率。 还可以提供测量硬涂层厚度和透射率的可选件。

  • F70 F70

    透明材料厚度可达13毫米,硅晶圆厚度可达2毫米。

单点测量

一键搞定的薄膜厚度和折射率台式测量系统。 测量 1nm 到 13mm 的单层薄膜或多层薄膜堆。

大多数产品都有库存而且可立即出货。

  • F40 F40

    可固定到您的显微镜上来测量小至 1 µm 光斑的厚度和折射率。

  • F40-NSR F40-NSR

    天衣无缝整合进入 NanoSpec™ 180/210系统 Integrates seamlessly onto your NanoSpec™ 180/210 System.

显微镜斑点测量

当测量斑点只有1微米(µm)时,需要用您自己的显微镜或者用我们提供的整个系统。

  • F50 F50

    在我们的 F20 系列产品上增添了自动测绘能力。 以每秒钟 2 个点的速度测绘厚度和折射率。

  • F54 F54

    能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度,样品直径可达450毫米

  • F60-t F60-t

    满足生产环境的台式测绘系统,包括自动基准确定、凹槽定位、全封闭测量平台以及其它装置。

  • F60-c F60-c

    在 F60-t 的基础上加入晶圆自动传输。 可以测量大到 300mm 的晶圆。

  • F80-t F80-t

    满足生产环境的产品晶圆台式测绘系统,21 秒内能测量 15 个点。

  • F80-c F80-c

    在 F80-t 的基础上加入晶圆自动传输。 可以测量大到 300mm 的晶圆。

自动测绘系统

几乎任何形状的样品厚度和折射率的自动测绘。人工加载或机器人加载均可。

  • F30 F30

    检测金属有机化学气相沉积、阴极溅镀和其他沉积工艺中反射率、厚度和沉积率。

  • F37 F37

    在线薄膜测量仪器,最多能支持七个探头。

在线监测

监测控制生产过程中移动薄膜厚度。高达100 Hz的采样率可以在多个测量位置得到。

附件

Filmetrics 提供各种附件以满足您的应用需要