F60-c

生产环境的全自动晶圆盒式测绘系统

Filmetrics F60-c 系列不仅能像F50那样测绘薄膜厚度和折射率,还加上了一系列生产环境需要的功能。包括凹槽自动检测,自动基准确定,带安全锁定的全封闭测量平台,预装软件的工业计算机,以及机械手晶圆传输。

不同的F60-c仪器主要由不同的厚度和波长范围来区分。较短波长 (如 F60-c-UV) 测量较薄的薄膜。而较长的波长,则测量较厚,较粗糙,和不透明的薄膜。

包含的内容:

型号规格

*取决于薄膜种类
型号 厚度范围* 波长范围
F60-c 20nm-70µm 380-1050nm
F60-c-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F60-c-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F60-c-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F60-c-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F60-c-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F60-c-s980 4µm-1mm 960-1000nm
F60-c-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm
F60-c-s1550 10µm-3mm 1520-1580nm
厚度范围*

额外的好处:

  • 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
  • 应用工程师可立刻提供帮助(周一 - 周五)
  • 网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
  • 硬件升级计划

常见的选购配件: