F80-c

经济型产品晶圆测量系统

制程工程师们都希望快速简便地测量薄膜厚度。我们创新的 ”厚度测绘 (注册商标)“ 技术使 Filmetrics 能提供简易的配方设定、行业领先的速度、以及竞争对手几分之一的价格。

和只能在单个点上测量厚度的传统工具不同,F80 能够在测量区附近收集数千个厚度读数而且快速产生厚度图像。 这一革命性创新方法的成果就是...

该系统有不同的配置方式,从低成本、人工加载台式系统到 BOLTS 集成测绘模块、以及独立型全自动测绘系统。

如果您正在寻找新一代厚度计量技术的话,那么,您就不必再到处寻觅了。 F80 就是化学机械研磨、化学气相沉积、物理气相沉积和晶圆轨道制程工程师们梦寐以求的工具。

Thickness Imaging 是 Filmetrics Inc. 的注册商标。

Filmetrics 的 Thickness Imaging 技术曾荣获“研发 100 大奖”。

这一革命性创新方法的成果就是...

  • 超快速测量 - 21 秒钟内测量 15 个点
  • 超级易使用
  • 超强大的自动系统
  • 超低廉的价格