厚度标准

所有 Filmetrics 厚度标准都是得到验证可追溯的 NIST 标准。

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  TS-Custom-NIST

  在客户提供的样品上定制可追溯的 NIST 厚度校准。 点击这里索取可追溯的 NIST 标准说明。

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  TS-Focus-SiO2-4-3100

  SiO2-on-Si 厚度标准，外加调焦区和单晶硅基准，厚度大约 3100A，4" 晶圆。

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  TS-Focus-SiO2-4-10000

  SiO2-on-Si 厚度标准，外加调焦区和单晶硅基准，厚度大约 10000A，4" 晶圆。

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  TS-Hardcoat-4µm

  丙烯酸塑料硬涂层厚度标准，厚度大约 4um，直径 2"。

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  TS-Hardcoat-Trans

  背面透明的硬涂层，可用于透射测量。

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  TS-Parylene-4um

  丙烯酸塑料上的聚对二甲苯厚度标准，厚度大约 4um ，直径2"。

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  TS-Parylene-8um

  硅基上的聚对二甲苯厚度标准，厚度大约 8um，23mm x 23mm。

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  TS-SiO2-4-7200

  硅基上的二氧化硅厚度标准，厚度大约 7200A，4" 晶圆。

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  TS-SiO2-4-7200-NIST

  可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度标准。

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  TS-SiO2-6-Multi

  多厚度硅基上的二氧化硅标准: 125埃米，250埃米，500埃米，1000埃米，5000埃米，和 10000埃米 (+/-10%误差)，6英寸晶圆。

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  TS-SS3-SiO2-8000

  專為SS-3样品平台設計之二氧化硅厚度标准片,厚度大约為 8000A。