厚度标准

所有 Filmetrics 厚度标准都是得到验证可追溯的 NIST 标准。

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    TS-Custom-NIST

    在客户提供的样品上定制可追溯的 NIST 厚度校准。 点击这里索取可追溯的 NIST 标准说明。

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    TS-Focus-SiO2-4-3100

    SiO2-on-Si 厚度标准,外加调焦区和单晶硅基准,厚度大约 3100A,4" 晶圆。

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    TS-Focus-SiO2-4-10000

    SiO2-on-Si 厚度标准,外加调焦区和单晶硅基准,厚度大约 10000A,4" 晶圆。

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    TS-Hardcoat-4µm

    丙烯酸塑料硬涂层厚度标准,厚度大约 4um,直径 2"。

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    TS-Hardcoat-Trans

    背面透明的硬涂层,可用于透射测量。

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    TS-Parylene-4um

    丙烯酸塑料上的聚对二甲苯厚度标准,厚度大约 4um ,直径2"。

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    TS-Parylene-8um

    硅基上的聚对二甲苯厚度标准,厚度大约 8um,23mm x 23mm。

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    TS-SiO2-4-7200

    硅基上的二氧化硅厚度标准,厚度大约 7200A,4" 晶圆。

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    TS-SiO2-4-7200-NIST

    可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度标准。

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    TS-SiO2-6-Multi

    多厚度硅基上的二氧化硅标准: 125埃米,250埃米,500埃米,1000埃米,5000埃米,和 10000埃米 (+/-10%误差),6英寸晶圆。

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    TS-SS3-SiO2-8000

    專為SS-3样品平台設計之二氧化硅厚度标准片,厚度大约為 8000A。