型号规格
型号 | 传感器类型 | 量测范围 | 最大测绘直径 | XY载台运动范围 | 最大样品容许寛度 | 最大样品容许高度 |
---|---|---|---|---|---|---|
R50-4PP | 接触式四探头 | 1mΩ/sq - 200MΩ/sq | 100mm | 100mm x 100mm | 265mm | 100mm |
R50-EC | 非接触涡流 | 1mΩ/sq - 10Ω/sq | 100mm | 100mm x 100mm | 265mm | 100mm |
R50-200-4PP | 接触式四探头 | 1mΩ/sq - 200MΩ/sq | 200mm | 200mm x 200mm | 365mm | 100mm |
R50-200-EC | 非接触涡流 | 1mΩ/sq - 10Ω/sq | 200mm | 200mm x 200mm | 365mm | 100mm |
片电阻和其他测量应用
R50 4探头(4PP或FPP)和涡流探头测量技术的测量应用十分广泛,其中包括但不限于以下的测量:
- 金属膜和背面工艺层厚度测量
- 衬底电阻率
- 片电阻
- 薄膜厚度或电阻率
- 片电导率和体电导率
- 堆叠薄膜