R50 系列
片电阻测量
Filmetrics R系列片电阻测绘设备完美地结合了KLA 45多年的技术开发与完善和Filmetrics团队过去20年开发的台式仪器技术。对于薄金属层和离子注入层推荐采用R50-4PP接触式四点探头，而R50-EC非接触式涡流探头则建议用于较厚的金属层和软性或柔性表面，其中包括：
- • 半导体晶圆衬底
- • 玻璃衬底
- • 塑料（柔性）衬底
- • PCB 图案特征
- • 太阳能电池
- • 平板显示层和图案特征
- • 금金属箔
型号规格
| 型号 | 传感器类型 | 量测范围 | 最大测绘直径 | XY载台运动范围 | 最大样品容许寛度 | 最大样品容许高度 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| R50-4PP | 接触式四探头 | 1mΩ/sq - 200MΩ/sq | 100mm | 100mm x 100mm | 265mm | 100mm |
| R50-EC | 非接触涡流 | 1mΩ/sq - 10Ω/sq | 100mm | 100mm x 100mm | 265mm | 100mm |
| R50-200-4PP | 接触式四探头 | 1mΩ/sq - 200MΩ/sq | 200mm | 200mm x 200mm | 365mm | 100mm |
| R50-200-EC | 非接触涡流 | 1mΩ/sq - 10Ω/sq | 200mm | 200mm x 200mm | 365mm | 100mm |
片电阻和其他测量应用
R50 4探头（4PP或FPP）和涡流探头测量技术的测量应用十分广泛，其中包括但不限于以下的测量：
- 金属膜和背面工艺层厚度测量
- 衬底电阻率
- 片电阻
- 薄膜厚度或电阻率
- 片电导率和体电导率
- 堆叠薄膜