厚度测量产品

我们的膜厚测量产品可适用于各种应用。我们大部分的产品皆備有库存以便快速交货。请浏览本公司网页产品资讯或联系我们的应用工程师针对您的厚度测量需求提供立即协助.

单点厚度测量

一键搞定的薄膜厚度和折射率台式测量系统。 测量 1nm 到 3mm 的单层薄膜或多层薄膜堆。

大多数产品都有库存而且可立即出货。

  • F20 F20

    全世界销量最好的薄膜测量系统。有各种不同附件和波长覆盖范围。

  • F3-sX F3-sX

    F3-sX 系列能测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米

  • F10-ARc F10-ARc

    可测量镜片和其他曲面的反射率，用于硬涂层厚度测量

  • F10-RT F10-RT

    可同时测量反射率和透射率。 提供测量厚度和折射率的可选件。普遍应用于真空涂层领域。

  • F10-HC F10-HC

    测量硬涂层和防雾层厚度和折射率。聚碳酸酯硬涂层在汽车等行业应用普遍。

  • F3-CS F3-CS

    提供微小视野及微小样品量测.

  • F10-AR F10-AR

    测量眼科镜头和其他弯曲表面的反射率。 还可以提供测量硬涂层厚度和透射率的可选件。

微米(显微)级别光斑尺寸厚度测量

当测量斑点只有1微米（µm）时，需要用您自己的显微镜或者用我们提供的整个系统。

  • F40 F40

    可固定到您的显微镜上来测量小至 1 µm 光斑的厚度和折射率。

自动厚度测量系统

几乎任何形状的样品厚度和折射率的自动测绘。人工加载或机器人加载均可。

  • F50 F50

    在我们的 F20 系列产品上增添了自动测绘能力。 以每秒钟 2 个点的速度测绘厚度和折射率。

  • F54 F54

    能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度,样品直径可达450毫米

  • F54-XY F54-XY

    绘制最大尺寸为 200mm x 200mm或 300mm 的晶圆膜厚分布图，最快可实现每秒测量两个视场点。

  • F60-t F60-t

    满足生产环境的台式测绘系统，包括自动基准确定、凹槽定位、全封闭测量平台以及其它装置。

  • F60-c F60-c

    在 F60-t 的基础上加入晶圆自动传输。

在线厚度测量系统

监测控制生产过程中移动薄膜厚度。高达100 Hz的采样率可以在多个测量位置得到。

  • F30 F30

    检测金属有机化学气相沉积、阴极溅镀和其他沉积工艺中反射率、厚度和沉积率。

附件

Filmetrics 提供各种附件以满足您的应用需要