F60-c 系列

适合生产环境的自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统

Filmetrics® F60-c系列能够像我们的F50产品一样对薄膜厚度和折射率进行测绘,但它还包括许多专门用于生产环境的功能。这其中包括自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台、已安装软件的工业计算机, 以及晶盒及机械手臂自动传输。

不同的F60-c仪器主要通过测量厚度和波长范围来区分。通常测量较薄的薄膜需要较短的波长(例如F60-c-UV),而较长的波长则适于测量较厚、较粗糙和更不透明的薄膜。

包含的内容:

型号规格

*取决于薄膜种类
型号 厚度范围* 波长范围
F60-c 20nm-70µm 380-1050nm
F60-c-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F60-c-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F60-c-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F60-c-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F60-c-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F60-c-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm
厚度范围*

额外的好处:

  • 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
  • 应用工程师可立刻提供帮助(周一 - 周五)
  • 网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
  • 硬件升级计划

常见的选购配件: