厚度标准

所有 Filmetrics 厚度标准都是得到验证可追溯的 NIST 标准。

如需更详尽 Filmetrics 附件信息，联络 Filmetrics 应用实验室- 台湾。请拨打: 400-120-3576 (中国); +886 (6) 509-5390 (台湾) 或电子邮件联系我们。

TS-Custom-NIST

在客户提供的样品上定制可追溯的 NIST 厚度校准。点击这里索取可追溯的 NIST 标准说明。
TS-Focus-SiO2-4-3100

SiO2-on-Si 厚度标准，外加调焦区和单晶硅基准，厚度大约 3100A，4" 晶圆。
TS-Focus-SiO2-4-10000

SiO2-on-Si 厚度标准，外加调焦区和单晶硅基准，厚度大约 10000A，4" 晶圆。
TS-Hardcoat-4µm

丙烯酸塑料硬涂层厚度标准，厚度大约 4um，直径 2"。
TS-Hardcoat-Trans

背面透明的硬涂层，可用于透射测量。
TS-Parylene-4um

丙烯酸塑料上的聚对二甲苯厚度标准，厚度大约 4um ，直径2"。
TS-Parylene-8um

硅基上的聚对二甲苯厚度标准，厚度大约 8um，23mm x 23mm。
TS-SiO2-4-7200

硅基上的二氧化硅厚度标准，厚度大约 7200A，4" 晶圆。
TS-SiO2-4-7200-NIST

可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度标准。
TS-SiO2-6-Multi

多厚度硅基上的二氧化硅标准: 125埃米，250埃米，500埃米，1000埃米，5000埃米，和 10000埃米 (+/-10%误差)，6英寸晶圆。
TS-SS3-SiO2-8000

專為SS-3样品平台設計之二氧化硅厚度标准片,厚度大约為 8000A。