F54
自动化薄膜测绘
Filmetrics F54 系列的产品能以一个电动R-Theta 平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米
可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.仅需具备基本电脑技能的任何人可在数分钟内自行建立配方
F54 自动化薄膜测绘只需联结设备到您运行Windows™系统计算机的USB端口, 可在几分钟轻松设置
不同的型号主要是由厚度和波长范围作为区别。通常较薄的膜需要较短波长作测量(如F54-UV) 用来测量较薄的膜,而较长的波长可以用来测量更厚，更粗糙，或更不透明的薄膜
包含的内容：
- 集成光谱仪/光源装置
- MA-Cmount 安装转接器 显微镜转接器
- 光纤连接线
- BK7 参考材料
- TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度标准 聚焦/厚度标准
- 4", 6" and 200mm 参考晶圆
- 真空泵
- 备用灯
型号规格
| 型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
|---|---|---|
| F54 | 20nm-40µm | 380-850nm |
| F54-UV | 4nm-30µm | 190-1100nm |
| F54-NIR | 40nm-100µm | 950-1700nm |
| F54-EXR | 20nm-100µm | 380-1700nm |
| F54-UVX | 4nm-100µm | 190-1700nm |
| Spot Size | 500µm Aperture | 250µm Aperture | 100µm Aperture | 50µm Aperture |
|---|---|---|---|---|
| 5x Objective: | 100µm | 50µm | 20µm | 10µm |
| 10x Objective: | 50µm | 25µm | 10µm | 5µm |
| 15x Objective: | 33µm | 17µm | 7µm | 3.5µm |
| 50x Objective: | 10µm | 5µm | 2µm | 1µm |
额外的好处：
- 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
- 应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
- 网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
- 硬件升级计划
常见的选购配件：
-
可追溯的 NIST 厚度标准
-
F50 平台 - 100mm，200mm，300mm，以及450mm（450mm夹盘需要F50-450机型）