F54-XY系列

图案化晶圆的自动膜厚测量

F54-XY拥有先进的反射光谱仪系统，可轻松实现对最大300mm晶圆样品的膜厚测量。

F54-XY-200型膜厚仪可测量最大尺寸200mm的样品，电动XY载台可实现预选点位的自动测量，测量速度最高可达每秒2个视场点。

F54-XYT-300型膜厚仪具备高性能旋转样品台，可实现对300mm晶圆样品的测量。

系统内置极坐标、矩形阵列、直线等多种点位图形，用户也可自定义创建测量点阵，且无最多测量点数的限制。

模式识别功能可满足阵列式或非阵列式晶圆的测量需求。

F54-XY系列不同机型的主要区别在于待测薄膜的厚度和光源波段。一般情况下，待测膜厚越小，则需使用更短波长的光源进行测量（如 F54-XY-200-UV），反之长波光源则可以满足更厚、粗糙或透明度更低的薄膜厚度测量需求。