多孔硅
近年来, 多孔硅的研发工作大量进行。 众多兴趣的原因是多孔硅在光学器件、气体传感器和生物医疗设备应用中极具发展前途。
和大多数新的材料技术一样,多孔硅开发的部分挑战就是要找到确定各种材料参数的工具。 对于多孔硅而言,最基本参数就是薄膜层的厚度和孔隙度。
索取应用说明其它参数关系到加工后的薄膜层,例如浸渍材料的比例或传感器内吸收分子的数量。 Filmetrics 已经开发出了独一无二的分析算法,只要单击鼠标就能揭示多孔硅的厚度、折射率和孔隙度。 这一算法在 F20, F40, 和 F50 仪器内都是免费提供的。
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非晶多晶硅
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我们的 F80 厚度成像产品用于测量氧化物、STI 和金属化学机械研磨加工。
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Filmetrics库存成千上万种工业用电介质薄膜测量仪器。
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