硅晶圆薄膜

Filmetrics 提供台式系统, 测绘, 和生产测量 1nm 到 2mm 硅晶片和膜厚仪器系统。

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*厚度范围取决于仪器,选项,和测量材料。
厚度范围* 应用 仪器型号
5µm - 1mm 单点 F3-sX
1nm - 200µm 单点 F20
3nm - 1mm 厚度测绘 F50/F60